GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-18 23:28:56 浏览:9343
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅片翘曲度非接触式测试方法 |
| 英文名称： | Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning |
| 中标分类： |
冶金 >>
半金属与半导体材料 >>
元素半导体材料 |
| ICS分类： |
电气工程 >>
半导体材料
|
| 替代情况： | 替代GB/T 6620-1995 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-06-01 |
| 首发日期： | 1986-07-26 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 起草单位： | 洛阳单晶硅有限责任公司，万向硅峰电子股份有限公司 |
| 起草人： | 张静雯、蒋建国、田素霞、刘玉芹、楼春兰 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-06-01 |
| 页数： | 12页 |
| 计划单号： | 20065631-T-469 |
适用范围
本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片(以下简称硅片)翘曲度的非接触式测试方法。
本标准适用于测量直径大于50mm,厚度大于180μm 的圆形硅片。本标准也适用于测量其他半导体圆片的翘曲度。本测试方法的目的是用于来料验收或过程控制。本测试方法也适用于监视器件加工过程中硅片翘曲度的热化学效应。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
(GB/T2828.1-2003,ISO28591:1999,IDT)
GB/T6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T14264 半导体材料术语
所属分类： 冶金 半金属与半导体材料 元素半导体材料 电气工程 半导体材料
【英文标准名称】:Specificationfornon-invasivesphygmomanometers-Supplementaryrequirementsformechanicalsphygmomanometers
【原文标准名称】:非侵入式血压计规范.机械血压计的补充要求
【标准号】:BSEN1060-2-1996
【标准状态】:作废
【国别】:英国
【发布日期】:1996-06-15
【实施或试行日期】:1996-06-15
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:血压表;血压;气候;精密机械;定义;医学科学;试验;适用性;常规试验;精密度;压力测量(流体);设备安全;医疗技术学;血压计;医疗设备;作标记;力学;规范(验收);安全;测量仪器;测量
【英文主题词】:Bloodpressure;Bloodpressuremeter;Climate;Definition;Definitions;Equipmentsafety;Finemechanics;Fitnessforpurpose;Marking;Measurement;Measuringinstruments;Mechanic;Medicalequipment;Medicalsciences;Medicaltechnology;Precision;Pressuremeasurement(fluids);Routinetests;Safety;Specification(approval);Sphygmomanometers;Testing
【摘要】:ThisPartofEN1060,inconjunctionwithEN1060-1:1995,specifiesperformance,efficiencyandmechanicalandelectricalsafetyrequirements,includingtestmethods,fornon-invasivemechanicalsphygmomanometersandtheiraccessorieswhich,bymeansofaninflatablecuff,areusedforthenon-invasivemeasurementofarterialbloodpressure.
【中国标准分类号】:C38
【国际标准分类号】:11_040_55
【页数】:20P.;A4
【正文语种】:英语
Product Code:SAE AMS4780
Title:Manganese Alloy, Brazing Filler Metal 66Mn - 16Ni - 16Co - 0.80B, 1770 to 1875 掳F (966 to 1024 掳C) Solidus-Liquidus Range
Issuing Committee:Ams F Corrosion Heat Resistant Alloys Committee
Scope:This specification covers a manganese alloy in the form of powder, preforms and a viscous mixture (paste) of the powder in a suitable binder.
